تأثير تغيير درجات الحرارة على الخصائـــــــــص التركيبية الحجمية للأغشية الرقيقة المحضرة من ثالث أكسيد التنغستن (wo3) المستخدمة في تصنيع أجهزة المتحسس الغازي
DOI:
https://doi.org/10.31185/bsj.Vol18.Iss27.1008الكلمات المفتاحية:
الحبيبات النانوية ، الاغشية الرقيقة، النظام البلوري، الاكسدة، التبخير الحراري، الاستئصال بالليزرالملخص
في هذا البحث تم دراسة خصائص حساسات الغاز للأغشية (WO3 : Cuo2) اذ تم ترسيب ثنائي اوكسيد النحاس (Cuo2) فوق ركائز من الكوارتز من النوع N-Type اذ رسبت العينات باستعمال تقنية التبخير الحراري في الفراغ ,تكونت اغشية منتظمة ورقيقة ومستوية من دون تكتلات وتم اكسدة العينات في الفرن الكهربائي عند درجة حرارة °C (500 ,550 ,600) لمدة ساعة ثم يترك يبرد لمدة hr(24) , وبعدها تم ترسيب طبقة (WO3) كأغشية رقيقة فوق طبقة (Cuo2) بطريقة الاستئصال بالليزر النبضي بعد كبس مادة (WO3) على شكل اقراص تحت حمل (5Tan), وبعدها تمت الاكسدة في الفرن الكهربائي للعينات المحضرة عند درجات حرارة °C (700 ,750 ,800) لمدة ساعة ثم يترك يبرد لمدة hr(24) , اذ ظهر التوزيع المنتظم للحبيبات النانوية الكروية توزيعًا مضغوطًا ومتجانسًا مع بعض التكتلات الحبيبية التي تظهر على شكل عناقيد. لحصولنا على افضل انتظام بلوري حسب المقطع العرضي لفحص (Cross-Sectional) , ومن خلال فحوصات حيود الاشعة السينية(XRD) أظهر فحص الأشعة السينية زيادة طفيفة في حجم الجسيمات النانوية مما ادى الى تناقص الحجم البلوري اذ تم حسابه من خلال معادلة شرر . وبينت نتائج مجهر القوة الذرية AFM انه عند ترسيب ثلاثي اوكسيد التنغستن ينخفض معدل خشونة السطح مع انخفاض الحجم البلوري للمادة، ومن خلال نتائج المجهر الالكتروني الماسح FESEM ان المادة النقية تكون على شكل جسيمات كروية وتكون جميع الاغشية متجانسة من خلال مظهر السطح وتكون الذرات بشكل كروي تقريبا وبزيادة مقدار درجة حرارة التلدين يصبح شكل السطح متكتل ويزداد معدل الحجم الحبيبي.
